本文源自:金融界

金融界2025年7月7日消息，国家知识产权局信息显示，厦门钧摩芯半导体有限公司申请一项名为“一种基于等离子技术的半导体废气处理装置”的专利，公开号CN120242693A，申请日期为2烘干机025年03月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于等离子技术的半导体废气处理装置，该装置由预处理、除尘、等离子体反应及后处理四大模块构成，各模块通过柜体实现可拆卸连接，增强了灵活性与维护便利性。预处理烘干机模块含前置筒及气体匀化结构，确保废气均匀分布，并配备传感器监测浓度。除尘模块由至少两个可串联的除尘器组成，选择性强。等离子体反应模组利用蜂窝状电极结构，配合电源模组，高效净化废气。后处理模块采用喷淋器烘干机，内置溢流管形成拦截式水幕，进一步净化废气。此设计打破了传统废气净化设备连接固定的局限，提升了设备适应性与维护便捷性，有效解决了半导体制程废气净化中的灵活性与维护难题，为半导体行业废气处理提供了高效、烘干机灵活的解决方案。

天眼查资料显示，厦门钧摩芯半导体有限公司，成立于2021年，位于厦门市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门钧摩芯半导体有限公司烘干机共对外投资了1家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息14条，此外企业还拥有行政许可4个。